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水热法制备薄膜材料技术研究进展_论文

维普资讯 http://www.cqvip.com 2 0 .o 7 07N .   陶 瓷  水 热 法 制 备 薄 膜 材 料 技 市 研 究 迈 展  李 慧 勤  谈 国强  安 百 江  张 欣 娟  ( 1陕 西科 技大 学材 料科 学 与工程 学 院  西 安 摘 要 702 ) ( 10 1   2陕西 宝光 陶瓷 科技 有 限公 司  陕 西 宝 鸡 7 10 ) 2 34  水热法制 备薄膜是近年来发展起来的一种很有潜力 的液相制 膜技术 , 制备压 电 、 电 和氧化 物薄膜 等领 域 内 在 铁   的研 究 很 活 跃 。笔 者 介 绍 了 水 热 法 制 备 薄 膜 技 术 的 发 展 、 原理 、 点 以 及在 材 料 研 究 中 的 应 用 和 发 展 前 景 等 , 述 了 相 关  特 综 的研 究 成 果 。   关键 词 水热法 薄膜 综 述  De eo v lpme   nd S u   fThn  l s De ie   y H y r t e ma   c ni e nta   t dy o   i Fi m   rv d b   d o h r lTe h qu   L  i i。 iHu q n , T n G o in 。 AnB ia g , h gX nu (  c o lo  tr l  in e ad E gn e n a  u qa g ,   a in2 Z a   ii ̄ 1S h o fMae asS e c n   n ier g,S a n iU iest o  ine j n i c i h a x  nvri  fS e c  y c n   eh ooy adT c nlg ,Xi , 10 1 (  h ax  ag a gV c u   kc   eie C a ,h ax , aj,2 3 4  n a 7 0 2 ) 2S a niB o u n   a u m E  cD vc  o.1d. S an iB oi7 1 0 ) Ab ta t: d oh r lmeh d i  n ata t e tc ni et  r p r hn fl  n l ui  h s  e eo e  n r c ty rr .a   su d i  sr c Hy rt ema  to  sa  trci  e h qu  op e a et i  msi i d p a ed v lp d i e en  e a v i q s d n wa   s  n e p e ai g p eo ee ti fro ee ti  n   xde fm s rp rn   iz   lcrc, e r  lcrc a d o i   l .Th  h d oh r ltc nq e fr p p rn  hn f ms i  nrdu e i   rn il   i e y r te ma e h iu  o  r aig ti  l   si to c d,t p cpe, e i s i  ̄a e  n  h  eaie rs l   r  e iwe  n t i  a r  h t ra d t e rlt  e ut ae r ve d i hsp p . v s e Ke   r s: d ohema  to T i  l y wo d Hy rt r lme d; n fms; u h h i S mmay r  薄 膜 材 料 因其 优 异 的 性 能 及 潜 在 的 工 业 应 用 价  值, 各种 新 的制膜 方法 不 断得 以研究 和应 用 。 目前 , 制  膜 方法 已从 真空蒸 镀 发展 到离 子镀 、 溅射镀 膜 、 气相 沉  积 ( V C D MO V L V 、 子 束处 延 、 胶 一凝  P D、 V 、 C D、 C D) 分 溶 胶 ( o 一 1、 Sl   ) 喷雾 热解 等 。水 热法 最早 是 在 地质 学 领  域 展 开的 , 已广 泛 应用 于材 料制备 , 示 出极 大 的优  现 显 用 场 的引 入 , 水 热 反应 更 易 于进 行 。 日本 东 京 工业  使 大学 Maai   ohm r 教 授 最 先 提 出第 二 类 水 热法 , shr Y si ua o   并 将 它 命 名 为 Sf Slt n Poes g SP 。M s i   o   o i   rcs n ( S ) aa r t uo i ho Y si ua ohm r 教授 用 SP法 在 2 S 0~2 0℃ 一 步 制 备 出 了  0 LC 2 LNO 薄 膜 电极 。 iO 和 i i    越 性 。而用 水热 法 制 备 薄 膜 是近 2 0年来 发 展 起 来 的  一 2 水 热 法 制备 薄 膜 工 艺    2 1 制 备 薄 膜 原 理  . 种很 有潜 力 的液 相制膜 技 术 , 制备 压 电 、 电和氧  在 铁 化物 薄膜 等领域 内 的研究 很 活跃 。   水 热法 制备 薄膜 的化 学反 应 是在 高 压容 器 内的高  l 水 热 法    水热 法是 在特 制 的密 闭反 应 容 器 ( 压 釜 ) , 高 里 采  用水 溶液 为反 应介 质 , 通过对 反应 容 器加热 , 造一个  创 高温 、 压的 反应环 境 , 高 使得 通 常难溶 或不 溶 的物质 溶  解并且 重 结 晶。水 热法 是在 百余 年前 由地 质学 家模 拟  地层 下的 水热 条件 研 究 某 些 矿物 和岩 石 形 成 原 因 , 在  实验 室 内进行仿 地 质水 热合 成 时产生 。   水热 法制备 薄 膜 分 为 普 通水 热法 和特 殊 水 热 法 ,   温 高压 流体 中进 行 的。一 般 以无 机盐 或氢 氧化 物 水

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